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配管・真空チャンバー用加熱・保温ヒーター

配管・真空チャンバー用加熱・保温ヒーター

配管に流れる気体・液体を加熱・保温する、あるいは真空チャンバーを加熱するヒーターです。
半導体製造装置メーカー、海外の半導体製造工場においては、半導体製造装置のガス配管中のガス寝込み(周囲温度が低いときにガスが液化する現象)防止用としてガス配管に取付けて使用する加温用ヒータです。

何を温めるかにより、ヒーターの種類は変わってきます。
また、適切な温度管理を求めるお客様も多いので、弊社のmonooneシリーズをおすすめしております。

「被加熱物」を確実に温めて、温度管理もしたい。
どんなヒーターがよいかわからない、というところからお打ち合わせをし、製作いたします。

過去に製作した応用実例として、
【シリコンスポンジ付ラバー配管ヒーターを使用した工場内配管トータルヒーティングシステム】

【マントルヒーターを使用したバルブ用ヒーター】

【PTFEリボンヒーターを使用したクリーンルームヒーター】

【シリコンコードヒーターを使用した配管用ヒーター】
など多数

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