配管・真空チャンバー用加熱・保温ヒーター

配管・真空チャンバー用加熱・保温ヒーター

配管に流れる気体・液体を加熱・保温する、あるいは真空チャンバーを加熱するヒーターです。
半導体製造装置メーカー、海外の半導体製造工場においては、半導体製造装置のガス配管中のガス寝込み(周囲温度が低いときにガスが液化する現象)防止用としてガス配管に取付けて使用する加温用ヒータです。

何を温めるかにより、ヒーターの種類は変わってきます。
また、適切な温度管理を求めるお客様も多いので、弊社のmonooneシリーズをおすすめしております。

「被加熱物」を確実に温めて、温度管理もしたい。
どんなヒーターがよいかわからない、というところからお打ち合わせをし、製作いたします。

過去に製作した応用実例として、
【シリコンスポンジ付ラバー配管ヒーターを使用した工場内配管トータルヒーティングシステム】

【マントルヒーターを使用したバルブ用ヒーター】

【PTFEリボンヒーターを使用したクリーンルームヒーター】

【シリコンコードヒーターを使用した配管用ヒーター】
など多数

関連商品

ラバー配管ヒーター

ストレート、配管、エルボ、フレキ、クランプなど配管を構成する各パーツごとにヒーターを1台から製作いたします。

シリコン被覆タイプ

φ2.4〜2.8mmのコード状のヒーターです。細い配管、チューブ、その他複雑な形状にも、簡単に巻き付ることができます。凍結防止、加熱、保温に最適です。

マントルヒーター(ガラスクロス)

配管やバルブなど、複雑な形状にフィットさせることができます。保温材付のため、効率的に加熱することができます。

マントルヒーター(クリーンルーム用)

クリーンルームに最適なPTFEファイバークロス eFF260#1を基本採用。
配管やバルブなど、複雑な形状にフィットさせることができます。保温材付のため、効率的に加熱することができます。

リボンヒーター(クリーンルーム用)

ポリテトラフルオロエチレンを延伸加工して生成されたPTFEファイバーに特殊加工をさらに施したリボンヒーターです。

デジタル温度コントローラ monoone-120(モノワン120)

コンパクトでタフなボディ。ヒーターと被加熱物の温度を同時監視し、過昇温防止機能搭載。

温度センサー 熱電対(Kタイプ)「シースタイプ」

ステンレスシース管に熱電対素線を通してシース管中に、無機絶縁物を高圧で充填したもので、感度・耐振性・経済性に優れております。

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