配管・真空チャンバー用加熱・保温ヒーター
配管に流れる気体・液体を加熱・保温する、あるいは真空チャンバーを加熱するヒーターです。
半導体製造装置メーカー、海外の半導体製造工場においては、半導体製造装置のガス配管中のガス寝込み（周囲温度が低いときにガスが液化する現象）防止用としてガス配管に取付けて使用する加温用ヒータです。
何を温めるかにより、ヒーターの種類は変わってきます。
また、適切な温度管理を求めるお客様も多いので、弊社のmonoOneシリーズをおすすめしております。
「被加熱物」を確実に温めて、温度管理もしたい。
どんなヒーターがよいかわからない、というところからお打ち合わせをし、製作いたします。
過去に製作した応用実例として、
【シリコンスポンジ付ラバー配管ヒーターを使用した工場内配管トータルヒーティングシステム】
【マントルヒーターを使用したバルブ用ヒーター】
【PTFEリボンヒーターを使用したクリーンルームヒーター】
【シリコンコードヒーターを使用した配管用ヒーター】
など多数
関連商品
ラバー配管ヒーター
ストレート、配管、エルボ、フレキ、クランプなど配管を構成する各パーツごとにヒーターを1台から製作いたします。
シリコンコードヒーター
φ2.4〜2.8mmのコード状のヒーターです。細い配管、チューブ、その他複雑な形状にも、簡単に巻き付ることができます。凍結防止、加熱、保温に最適です。
リボンヒーター（クリーンルーム用）
ポリテトラフルオロエチレンを延伸加工して生成されたPTFEファイバーに特殊加工をさらに施したリボンヒーターです。
マントルヒーター（ガラスクロス）
配管やバルブなど、複雑な形状にフィットさせることができます。保温材付のため、効率的に加熱することができます。
マントルヒーター（クリーンルーム用）
クリーンルームに最適なPTFEファイバークロス eFF260#1を基本採用。
配管やバルブなど、複雑な形状にフィットさせることができます。保温材付のため、効率的に加熱することができます。
デジタル温度コントローラ monoOne®-120(モノワン®120)
コンパクトでタフなボディ。ヒーターと被加熱物の温度を同時監視し、過昇温防止機能搭載。
温度センサー 熱電対（Kタイプ）「シースタイプ」
ステンレスシース管に熱電対素線を通してシース管中に、無機絶縁物を高圧で充填したもので、感度・耐振性・経済性に優れております。