配管・真空チャンバー用加熱・保温ヒーター

配管・真空チャンバー用加熱・保温ヒーター

配管に流れる気体・液体を加熱・保温する、あるいは真空チャンバーを加熱するヒーターです。
半導体製造装置メーカー、海外の半導体製造工場においては、半導体製造装置のガス配管中のガス寝込み(周囲温度が低いときにガスが液化する現象)防止用としてガス配管に取付けて使用する加温用ヒータです。

何を温めるかにより、ヒーターの種類は変わってきます。
また、適切な温度管理を求めるお客様も多いので、弊社のmonoOneシリーズをおすすめしております。

「被加熱物」を確実に温めて、温度管理もしたい。
どんなヒーターがよいかわからない、というところからお打ち合わせをし、製作いたします。

過去に製作した応用実例として、
【シリコンスポンジ付ラバー配管ヒーターを使用した工場内配管トータルヒーティングシステム】

【マントルヒーターを使用したバルブ用ヒーター】

【PTFEリボンヒーターを使用したクリーンルームヒーター】

【シリコンコードヒーターを使用した配管用ヒーター】
など多数

関連商品

シリコンラバーヒーター

薄い、柔らかい、1枚からの自由設計。凍結防止から200℃加熱まで可能な、多用途ヒーターです。
オプションでリード線の延長、熱電対の取り付け、両面テープ付けもできます。

ラバー配管ヒーター

ストレート、配管、エルボ、フレキ、クランプなど配管を構成する各パーツごとにヒーターを1台から製作いたします。

SUSバンドヒーター

ストレート管、丸タンク管などストレートタイプ専用のヒーターです。簡単に着脱できます。スポンジ付ですので、保温性もよいのが特徴です。

シリコンベルトヒーター(レギュラータイプ)

配管、バルブ、ポンプなどの凍結防止には、これを使用すれば簡単に加熱、保温できます。

シリコンベルトヒーター(スリムタイプ)

配管、バルブ、ポンプなどの凍結防止には、これを使用すれば簡単に加熱、保温できます。

シリコンベルトヒーター(ワイドタイプ)

配管、バルブ、ポンプなどの凍結防止には、これを使用すれば簡単に加熱、保温できます。

シリコンスパイラルヒーター

スパイラル状(φ20)にクセ付けされたヒーターです。簡単に巻き付けられ、作業性抜群です。

シリコンコードヒーター

φ2.4〜2.8mmのコード状のヒーターです。細い配管、チューブ、その他複雑な形状にも、簡単に巻き付ることができます。凍結防止、加熱、保温に最適です。

シリコンコードヒーター(ガラス被覆タイプ)

従来のシリコンコードヒーターに比べ、外側にガラスクロスを補強したものです。

リボンヒーター(クリーンルーム用)

ポリテトラフルオロエチレンを延伸加工して生成されたPTFEファイバーに特殊加工をさらに施したリボンヒーターです。

マントルヒーター(ガラスクロス)

配管やバルブなど、複雑な形状にフィットさせることができます。保温材付のため、効率的に加熱することができます。

マントルヒーター(クリーンルーム用)

クリーンルームに最適なPTFEファイバークロス eFF260#1を基本採用。
配管やバルブなど、複雑な形状にフィットさせることができます。保温材付のため、効率的に加熱することができます。

monoOne®+B(モノワン®プラス ビー)

どんな場所でも扱いやすいハンディタイプ。機能もシンプルに研ぎ澄ました「monoOne®」エントリーモデル。温度センサー付です。

デジタル温度コントローラ monoOne®-120(モノワン®120)

コンパクトでタフなボディ。ヒーターと被加熱物の温度を同時監視し、過昇温防止機能搭載。

温度センサー

温度センサーとは、対象物体や空間等の温度を測定するための機器です。
温度調節器やデータロガー等に接続することで測定した情報を伝達し、ヒーターの温度制御や、温度測定データ収集等に活用できます。

ページトップ