配管・真空チャンバー用加熱・保温ヒーター

配管に流れる気体・液体を加熱・保温する、あるいは真空チャンバーを加熱するヒーターです。半導体製造装置メーカー、海外の半導体製造工場においては、半導体製造装置のガス配管中のガス寝込み（周囲温度が低いときにガスが液化する現象）防止用としてガス配管に取付けて使用する加温用ヒータです。

何を温めるかにより、ヒーターの種類は変わってきます。また、適切な温度管理を求めるお客様も多いので、弊社のmonoOneシリーズをおすすめしております。

「被加熱物」を確実に温めて、温度管理もしたい。どんなヒーターがよいかわからない、というところからお打ち合わせをし、製作いたします。

自分たちの課題にどのヒーターが
適しているかわからない・・・という方は、ぜひお問い合わせください！

スリーハイではオリジナルの製品を1つから製作いたします。お電話またはFAXでご連絡ください。担当者が貴社に伺い、細かな仕様をご確認し、製作させていただきます。

FAXでのお問い合わせ045-590-5571